在半導(dǎo)體、面板、芯片封裝的超純水制備工藝中,杜邦A(yù)mberTec?UP6150 H/OH作為可分離再生型均粒拋光混床樹(shù)脂,普遍應(yīng)用于反滲透+EDI之后的終端精處理環(huán)節(jié),理想工況下產(chǎn)水電阻率可達(dá)18MΩ?cm級(jí)別,TOC能夠控制在5ppb以內(nèi)。本文將為您詳細(xì)介紹杜邦UP6150拋光樹(shù)脂出水潔凈度表現(xiàn)優(yōu)異,后段是否還需要配置精密過(guò)濾器?

結(jié)合實(shí)際項(xiàng)目運(yùn)行經(jīng)驗(yàn)來(lái)看,即便使用杜邦UP6150高品質(zhì)拋光樹(shù)脂,后端依舊建議配置精密過(guò)濾器,不可只依靠樹(shù)脂完成全部水質(zhì)防護(hù)。很多從業(yè)者存在認(rèn)知偏差,認(rèn)為拋光樹(shù)脂既能去除離子,也可以阻隔固體顆粒。實(shí)際上UP6150的核心作用為離子交換,去除水體當(dāng)中微量鹽類(lèi)離子,本身不具備物理截留顆粒的能力,無(wú)法阻擋樹(shù)脂碎料、管路脫落微粒跟隨水流流出樹(shù)脂罐體。
杜邦UP6150雖屬于均粒球形樹(shù)脂,均一系數(shù)控制嚴(yán)格,但系統(tǒng)啟停、流量波動(dòng)、床層壓差抬升等工況下,樹(shù)脂依舊會(huì)出現(xiàn)少量磨損碎裂,產(chǎn)生細(xì)微樹(shù)脂粉末。如果缺少后端過(guò)濾攔截,細(xì)小樹(shù)脂碎屑會(huì)直接流入超純水循環(huán)管路。在芯片切割、晶圓清洗工序,這類(lèi)微小顆粒附著元器件表面,會(huì)造成器件劃痕、接觸異常,直接影響成品合格率。部分現(xiàn)場(chǎng)曾省去后置過(guò)濾單元,破碎樹(shù)脂流入后端紫外、膜處理組件,引發(fā)整套純水回路二次污染,后期整改開(kāi)銷(xiāo)遠(yuǎn)高于過(guò)濾配件投入。
有人提出,新裝填的杜邦UP6150樹(shù)脂經(jīng)過(guò)充分沖洗,TOC與顆粒指標(biāo)回落之后,是否能夠省去后端過(guò)濾。但樹(shù)脂碎裂并非只出現(xiàn)在開(kāi)機(jī)調(diào)試階段,伴隨運(yùn)行周期拉長(zhǎng)、反復(fù)再生、水流沖擊,樹(shù)脂損耗會(huì)持續(xù)少量發(fā)生,屬于長(zhǎng)期存在的運(yùn)行風(fēng)險(xiǎn)。樹(shù)脂產(chǎn)品資料只對(duì)電阻率、TOC指標(biāo)做出承諾,并不保障出水完全不含固體微粒,顆粒物管控依舊要依靠物理過(guò)濾單元。
不同使用場(chǎng)景配置標(biāo)準(zhǔn)有所區(qū)別。普通高純水工況,顆粒物管控要求偏低,可適度簡(jiǎn)化配置;半導(dǎo)體、顯示面板、芯片封裝這類(lèi)電子級(jí)純水場(chǎng)景,杜邦UP6150后端必須配備終端精密過(guò)濾器。選型盡量避開(kāi)普通熔噴PP濾芯,優(yōu)先選用PVDF、PES材質(zhì)折疊濾芯,精度常用0.2-0.5μm,殼體選用PVDF或者高拋光316L材質(zhì),規(guī)避材質(zhì)析出帶來(lái)水質(zhì)干擾。過(guò)濾器搭配進(jìn)出口壓力表,參考?jí)翰钭兓鼡Q濾芯,不宜單純依照固定周期更換。
還要區(qū)分前后過(guò)濾單元的定位:杜邦UP6150前端保安過(guò)濾器用于防護(hù)樹(shù)脂,攔截上游懸浮物;樹(shù)脂后端過(guò)濾器用于捕捉樹(shù)脂碎屑,保護(hù)下游生產(chǎn)工序,兩者功能不能互相替代,不能憑借前端過(guò)濾就省略后端設(shè)備。
有些項(xiàng)目為壓低初期建設(shè)開(kāi)銷(xiāo),直接省去杜邦UP6150后端精密過(guò)濾器,短時(shí)間檢測(cè)電阻率可以達(dá)標(biāo),但隱患持續(xù)累積。樹(shù)脂粉末進(jìn)入管路后很難清除,一旦出現(xiàn)污染,會(huì)帶來(lái)產(chǎn)線停工、工件損耗等問(wèn)題。綜合建設(shè)投入與運(yùn)行風(fēng)險(xiǎn)考量,杜邦UP6150拋光樹(shù)脂后端增設(shè)精密過(guò)濾器,是兼顧穩(wěn)妥與性價(jià)比的做法。歡迎持續(xù)關(guān)注水天藍(lán),我們將為您帶來(lái)更多廢水零排放水處理和專(zhuān)業(yè)水處理設(shè)備知識(shí)!
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